旋轉塗佈精準定量注料解決方案

旋轉塗佈的應用

旋轉塗佈(Spin Coating)是利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗料進行厚度均化的過程，在平滑的工件上獲得薄且均勻的塗膜。旋轉塗佈的應用常見包括在半導體、平面顯示、觸控的光阻塗佈；也會應用在光學膜的塗佈及鋰電池中陽極膜的塗佈。

旋轉塗佈的優點是塗佈膜厚的均勻度佳，且操作簡單；但缺點是塗液在旋轉過程中的損耗大，塗料使用率過低。旋轉塗佈時影響塗料的參數很多，包括塗料黏度、溶劑揮發速度、表面張力及固含量。製程中塗料注液在基材上的精準度及穩定度，可以減少塗料的損耗並達到均勻塗佈的目的。

以半導體光阻劑塗佈為例，塗料過少，光阻劑無法全面分布在基板上，會影響產品的良率；塗佈過多，多餘的光阻劑在旋轉時造成過多耗損，光阻劑使用率低增加成本。精準定量且穩定一致的注料，是旋轉塗佈基本的要求。

旋轉塗佈精準注料解決方案

UBA優霸精密定量注液泵具有極高的精度及重複一致性，精度優於千分之五。獨特的頂置式微量控制閥設計，有利於氣泡的迅速排出，注液量更穩定。在要求高精度的產業上，可達要嚴苛的要求。

316不銹鋼的泵體結構，所有零件都有相當好的耐腐蝕性。膜片材質可選EPDM、FKM或Kalrez®全氟化橡膠，符合各種化學塗料的要求。適合光阻劑、電解液、化學液體、試劑、UV膠、油墨、凝膠類等液體。