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旋轉塗佈精準定量注料解決方案
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旋轉塗佈的應用
旋轉塗佈(Spin Coating)是利用轉盤高速旋轉離心力,將基材上的塗料進行厚度均化的過程,在平滑的工件上獲得薄且均勻的塗膜。旋轉塗佈的應用常見包括在半導體、平面顯示、觸控的光阻塗佈;也會應用在光學膜的塗佈及鋰電池中陽極膜的塗佈。
旋轉塗佈的優點是塗佈膜厚的均勻度佳,且操作簡單;但缺點是塗液在旋轉過程中的損耗大,塗料使用率過低。旋轉塗佈時影響塗料的參數很多,包括塗料黏度、溶劑揮發速度、表面張力及固含量。製程中塗料注液在基材上的精準度及穩定度,可以減少塗料的損耗並達到均勻塗佈的目的。
以半導體光阻劑塗佈為例,塗料過少,光阻劑無法全面分布在基板上,會影響產品的良率;塗佈過多,多餘的光阻劑在旋轉時造成過多耗損,光阻劑使用率低增加成本。精準定量且穩定一致的注料,是旋轉塗佈基本的要求。
旋轉塗佈精準注料解決方案
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